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日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵

簡(jiǎn)要描述：日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動(dòng)低噪音

產(chǎn)品型號(hào)： DIS-251

所屬分類：真空泵

更新時(shí)間：2024-08-22

詳細(xì)說(shuō)明：

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵一、特性

 

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

• 低振動(dòng)低噪音。

• 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。

 

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵二、應(yīng)用

 

• 分析設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂料設(shè)備

• TMP 前級(jí)泵

• 氦滲漏探測(cè)器

• 半導(dǎo)體制造工藝

 

三、規(guī)格參數(shù)

 

 

單位

50Hz

60Hz

實(shí)際抽速

L/min

250

300

極限壓力

Pa

1.6

馬達(dá)

單相

 

100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行

 

三相

 

200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P

滿載電流

單相

A

4.8/2.6/2.4
(100/200/230V)

4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230V) 

 

三相

 

1.6/0.9/0.9/1.0
(200/380/400/415V)

1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460V)

重量

單相

kg

25.0

 

三相

 

23.0

進(jìn)出氣管道直徑

 

進(jìn)氣管KF-25　出氣管 KF-16



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